Tetrakis(Ethylmethylamino)Silane 四(甲基(乙基)氨基)硅烷

CAS 477284-75-6 MFCD05663777

化学结构图

477284-75-6
SMILES: CN(CC)[Si](N(C)CC)(N(C)CC)N(C)CC

化学属性

Mol. FormulaC12H32N4Si
Mol. Weight260.499
Density0.89
Appearance colorless liq.
Stabilitymoisture sensitive
Boiling Point40°C

别名和识别编码

Chemical NameTetrakis(Ethylmethylamino)Silane
Chemical Name Translation四(甲基(乙基)氨基)硅烷
CAS Number477284-75-6
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系列性分类

  1. CVD & ALD Precursors
  2. Silicon
  1. Silanes & Silanols for CVD & ALD
  2. Silicon

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